page_banner

Novice

Uvod v elektronske plinovode visoke čistosti

V panogah, kot so mikroelektronika, optoelektronika in biofarmacevtika,svetlo žarjenje(BA), luženje ali pasiviranje (AP),elektrolitsko poliranje (EP)in vakuumsko sekundarno obdelavo se na splošno uporabljata za cevovodne sisteme visoke čistosti, ki prenašajo občutljive ali jedke medije. Raztopljeni (VIM+VAR) izdelki.
A. Elektro-polirano (elektro-polirano) se imenuje EP. Z elektrokemičnim poliranjem se lahko površinska morfologija in struktura močno izboljšata, dejanska površina pa se lahko do določene mere zmanjša. Površina je zaprta, debela folija kromovega oksida, energija je blizu normalne ravni zlitine, količina medija pa je zmanjšana – običajno primerna za elektronsko kakovostplini visoke čistosti.
B. Svetlo žarjenje (Bright Annealing) se imenuje BA. Visokotemperaturna toplotna obdelava v hidrogenacijskem ali vakuumskem stanju po eni strani odpravlja notranjo napetost, po drugi strani pa na površini cevi tvori pasivacijski film za izboljšanje morfološke strukture in zmanjšanje energijskega nivoja, vendar ne poveča hrapavost površine – običajno primerno za GN2, CDA in neprocesne inertne pline.
C. Piklirani in pasivirani/kemično polirani (Linkani in pasivirani/kemično polirani) se imenujejo AP in CP. Dekapiranje ali pasiviranje cevi ne bo povečalo površinske hrapavosti, lahko pa odstrani preostale delce na površini in zmanjša raven energije, ne bo pa zmanjšalo števila vmesnih slojev – ki se običajno uporabljajo v industrijskih ceveh.
 
D. Čista cev za vakuumsko sekundarno raztapljanje Vim (Vakuumsko indukcijsko taljenje) + Var (Vakuumsko obločno premeljevanje), imenovana V+V, je izdelek podjetja Sumitomo Metal Company. Ponovno je bil obdelan pod obločnimi pogoji v vakuumskem stanju, kar učinkovito izboljša odpornost proti koroziji in hrapavost površine. Stopnja – običajno primerna za zelo jedke pline visoke čistosti elektronskega razreda, kot so: BCL3, WF6, CL2, HBr itd.

 1712542857617

 

 


Čas objave: Apr-08-2024