1. Opredelitev plinskega sistema:
Shranjevanje in nadzor tlaka inertnih plinov Vrste plinov: tipični inertni plini (dušik, argon, stisnjen zrak itd.)
Velikost cevovoda: od 1/4 (cevovod za spremljanje) do 12-palčnega glavnega cevovoda
Glavni proizvodi sistema so: membranski ventil/ventil z mehom/krogelni ventil, konektor visoke čistosti (VCR, varilna oblika), konektor za ferule, ventil za regulacijo tlaka, manometer itd.
Trenutno nov sistem vključuje tudi sistem specialnega plina v razsutem stanju, ki za skladiščenje in transport uporablja pritrjene plinske jeklenke ali avtocisterne.
2. Opredelitev čistilnega sistema:
Odstranjevanje nečistoč iz plinov v razsutem stanju za plinovode visoke čistosti
3. Opredelitev plinskih omar:
Zagotavlja nadzor tlaka in spremljanje pretoka za posebne vire plinov (strupeni, vnetljivi, reaktivni, jedki plini) in ima možnost zamenjave plinskih jeklenk.
Lokacija: Nahaja se v nadstropju ali spodnjem nadstropju za shranjevanje posebnih plinov. Vir: NF3, SF6, WF6 itd.
Velikost cevovoda: Notranji plinovod, običajno 1/4 palca za procesni cevovod, 1/4-3/8 palca predvsem za cevovod za čiščenje dušika visoke čistosti.
Glavni proizvodi: membranski ventili visoke čistosti, protipovratni ventili, merilniki tlaka, merilniki tlaka, konektorji visoke čistosti (VCR, varilna oblika) Te plinske omarice v bistvu vsebujejo zmožnosti samodejnega preklopa za jeklenke, da zagotovijo neprekinjeno oskrbo s plinom in varno zamenjavo jeklenk.
4. Opredelitev distribucije:
Priključitev vira plina na tuljavo za zbiranje plina
Velikost linije: V tovarni čipov je velikost plinovoda za distribucijo plina običajno v razponu od 1/2 do 2 palca.
Oblika povezave: Posebni plinovodi so na splošno povezani z varjenjem, brez kakršne koli mehanske povezave ali drugih gibljivih delov, predvsem zato, ker ima varilna povezava visoko zanesljivost tesnjenja.
V tovarni čipov je na stotine kilometrov povezanih cevi za prenos plina, ki so v bistvu dolge približno 20 čevljev in zvarjene skupaj. Zelo pogosti so tudi nekateri zavoji cevi in cevni varilni spoji.
5. Večnamenska ventilska škatla (Valve Manifold Box, VMB) Definicija:
Namenjen je distribuciji posebnih plinov iz vira plina na različne konce opreme.
Notranja velikost cevovoda: procesni cevovod 1/4 palca in čistilni cevovod 1/4 - 3/8 palca. Sistem lahko uporablja računalniško krmiljenje, da zahteva aktivirane ventile ali nižje stroške z ročnimi ventili.
Sistemski izdelki: membranski ventili/ventili z mehom visoke čistosti, protipovratni ventili, spoji visoke čistosti (VCR, oblika za mikro varjenje), ventili za regulacijo tlaka, merilniki tlaka in merilniki tlaka itd. Za distribucijo nekaterih inertnih plinov je plošča razdelilnika ventilov - Uporablja se predvsem VMP (multi-function valve disc), ki ima odprto površino plinskega diska in ne zahteva zasnove zaprtega prostora ter dodatnega izpiranja dušika.
6. Opredelitev plošče/škatle sekundarnega ventila (plošča za priklop orodja):
Povežite plin, ki ga potrebuje polprevodniška oprema, od vira plina do konca opreme in zagotovite ustrezno regulacijo tlaka. Ta plošča je sistem za nadzor plina, ki je bližje koncu opreme kot VMB (večnamenska ventilska škatla).
Velikost plinovoda: 1/4 - 3/8 palca
Velikost cevovoda za tekočino: 1/2 - 1 palec
Velikost izpustnega cevovoda: 1/2 - 1 inch
Glavni proizvodi: membranski ventil/ventil z mehom, enosmerni ventil, ventil za regulacijo tlaka, manometer, manometer, spoj visoke čistosti (VCR, mikrovarjenje), spoj z obročem, krogelni ventil, cev itd.
Čas objave: 22. nov. 2024