1. Opredelitev sistema za plin v razsutem stanju:
Skladiščenje in nadzor tlaka inertnih plinov Vrste plinov: Tipični inertni plini (dušik, argon, stisnjen zrak itd.)
Velikost cevovoda: od 1/4 (nadzorni cevovod) do 12-palčnega glavnega cevovoda
Glavni izdelki sistema so: membranski ventil/mehni ventil/krogelni ventil, visoko čist priključek (VCR, varilna oblika), priključek s konico, ventil za regulacijo tlaka, manometer itd.
Trenutno novi sistem vključuje tudi sistem za prevoz posebnega plina v razsutem stanju, ki za skladiščenje in prevoz uporablja fiksne plinske jeklenke ali cisterne.
2. Opredelitev sistema za čiščenje:
Odstranjevanje nečistoč iz plinov v razsutem stanju za plinovode visoke čistosti
3. Opredelitev plinskih omar:
Zagotavljajo nadzor tlaka in spremljanje pretoka za posebne vire plina (strupene, vnetljive, reaktivne, korozivne pline) ter imajo možnost zamenjave plinskih jeklenk.
Lokacija: Nahaja se v podfabrici ali spodnjem nadstropju za shranjevanje posebnih plinov Vir: NF3, SF6, WF6 itd.
Velikost cevovoda: Notranji plinovod, običajno 1/4 palca za procesni cevovod, 1/4-3/8 palca predvsem za cevovod za čiščenje z dušikom visoke čistosti.
Glavni izdelki: Visoko čiste membranske ventile, nepovratne ventile, manometre, priključke visoke čistosti (VCR, varilne oblike). Te plinske omarice v osnovi vsebujejo zmogljivosti samodejnega preklapljanja jeklenk, kar zagotavlja neprekinjeno oskrbo s plinom in varno zamenjavo jeklenk.
4. Definicija distribucije:
Priključitev vira plina na tuljavo za zbiranje plina
Velikost cevovoda: V tovarni čipov se velikost cevovoda za distribucijo plina v razsutem stanju običajno giblje od 1/2 palca do 2 palcev.
Oblika povezave: Posebni plinovodi so običajno povezani z varjenjem, brez mehanske povezave ali drugih gibljivih delov, predvsem zato, ker ima varilni priključek močno tesnilno zanesljivost.
V tovarni čipov je na stotine kilometrov cevi, povezanih za prenos plina, ki so v osnovi dolge približno 6 metrov in so zvarjene skupaj. Zelo pogosti so tudi nekateri cevni upogibi in cevni varilni spoji.
5. Večfunkcijska ventilska omarica (Valve Manifold Box, VMB) Definicija:
Namenjen je distribuciji posebnih plinov od vira plina do različnih koncev opreme.
Notranja velikost cevovoda: procesni cevovod premera 1/4 palca in odzračevalni cevovod premera 1/4–3/8 palca. Sistem lahko uporablja računalniško krmiljenje za uporabo aktuatorjev ali za cenovno ugodnejše situacije z ročnimi ventili.
Sistemski izdelki: visoko čiste membranske ventile/mehne ventile, povratne ventile, visoko čiste spoje (VCR, mikrovarjenje), ventile za regulacijo tlaka, manometre in merilnike tlaka itd. Za distribucijo nekaterih inertnih plinov se uporablja predvsem ventilska razdelilna plošča - VMP (večfunkcijski ventilski disk), ki ima odprto površino plinskega diska in ne zahteva zasnove zaprtega prostora in dodatnega izpihovanja z dušikom.
6. Definicija sekundarne ventilske plošče/škatle (plošče za priklop orodja):
Plin, ki ga potrebuje polprevodniška oprema, priključite od vira plina do konca opreme in zagotovite ustrezno regulacijo tlaka. Ta plošča je sistem za nadzor plina, ki je bližje koncu opreme kot VMB (večfunkcijska ventilska omarica).
Velikost plinovoda: 1/4 - 3/8 palca
Velikost cevovoda za tekočino: 1/2 - 1 palec
Velikost izpustne cevi: 1/2 - 1 palec
Glavni izdelki: membranski ventil/mehni ventil, enosmerni ventil, ventil za regulacijo tlaka, manometer, manometer, visoko čist spoj (VCR, mikrovarjenje), spoj s tulko, kroglični ventil, cev itd.
Čas objave: 22. november 2024